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联博开奖:攻克高能离子加速 国产芯片手艺突破

2020-06-29 16:51 出处:  人气:   评论( 0

攻克高能离子加速 国产芯片手艺突破

2020-06-28 13:43:47 大公报
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分享 据中新社报道:作为芯片制造焦点要害装备,由中国电子科技集团有限公司(中国电科)旗下电科装备自主研制的高能离子注入机,已乐成实现百万电子伏特高能离子加速,其性能达国际主流先进水平。   中国电科旗下电科装备离子注入机总监张丛示意,电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机,实现中国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新生长,并将为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。   据了解,离子注入机是芯片制造中至关重要的焦点要害装备。在芯片制造过程中,需掺入差别种类元素以按预定方式改变质料的电性能,这些元素以带电离子形式被加速至预定能量并注入至特定半导体质料中。离子注入机即是执行这一掺杂工艺的芯片制造装备。   高能离子注入机是离子注入机中手艺难度最大的机型,长久以来,因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒,被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”,是中国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的要害一环。   中国电科先容说,旗下电科装备,此前已延续突破中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机产物研发及产业化难题,产物普遍服务于全球着名芯片制造企业。 责任编辑:陈梦瑶,

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